隋朝的最高监察机关是由门下省和御史台共同构成。门下省负责侍奉谏议、审查政令和封驳诏书等事宜，而御史台负责察举监督各级官吏。加上对各级官吏的考核、任免、任期、回避、奖惩等具体措施的实施，从不同的方面制约、监督官吏，构成了一个较为严密的监督网络，防止其滥用职权。
1. 御史监察制度
隋王朝建立之后，在三省之外设置御史台，作为全国最高的常设监察机关，具有“典正法度察举弹劾”，发挥督察百官的作用。
2. 御史台的机构设置与职权
根据《隋书·百官志下》记载，御史台内部机构的设置：“御史台，大夫一人，治书侍御史二人，侍御史八人，殿内侍御史、监察御史，各十二人……”其中，御史大夫为御史台的最高长官，掌管邦国刑宪、典章政令，以肃正朝列；治书侍御史为其副职负责举劾百官非法行为，受理冤狱，谏诤规正；侍御史负责纠举百僚，推鞫狱讼；监察御史负责分察百僚，巡按郡县，纠视刑狱，肃整朝仪。隋炀帝时期，又将监察御史增至 16 人。
隋初御史台的内部机构设置及职责虽然分工明确，但是御史仍未脱离禁中，仍沿用先秦时期在宫内办公的惯例，负责照料皇帝的起居等宫廷事务。到了大业中期，隋炀帝下诏“罢御史直宿台内”的旧制，御史台正式脱离了与宫内的关系，而成为相对独立的中央监察机关，标志着隋朝御史监察制度逐渐走向成熟。
御史台具有弹劾权和检查权。御史弹劾主要有两种形式：一种是露章面劾，即在朝堂之上，面对皇帝大臣及官吏的违法失职行为进行弹劾；二是封章奏劾，就是将要弹劾的事件写成表状，递交皇帝审阅。御史在行使其弹劾权时不受任何其他国家机关和政府官员的制约，也不必经过台主的同意，皇帝是受理弹劾的唯一主体，因此具有很大的独立性。
御史台对以下行为有权弹劾。一是品官不理朝政者。《隋书·苏威传》载：尚书右仆射苏威，因职事多不理，为御史所弹劾。二是滥受人官，不举贤才者。《苏威传》载：苏威在高阳典选，滥授人官，被御史大夫裴蕴所劾。又治书侍御史梁毗上书弹劾苏威“以威领五职，安繁恋剧，无举贤自代之心”。三是朝会举止礼仪不肃整者。为了维护皇帝的尊严，隋统治者特别重视朝廷百官的礼仪。《隋书·虞庆则传》载：隋文帝平陈之后，置酒会群臣，时杨素与虞庆则互比功过长短，“御史欲弹之”。皇帝观群臣宴射，虞庆则说：“臣蒙赍酒食，令尽乐，御史在侧，恐醉而被弹。”御史如果对朝廷百官中举止礼仪有不肃者失弹，则属严重失职。《隋书·刑法志》载：元正朝会之日，有武官佩剑不齐者，御史监师没有纠弹，文帝就发怒说：“尔为御史，何从舍自由”，命杀之。四是对朝廷律令置若罔闻、中饱私囊。《隋书·刘畸传》记载：文帝时京城饥荒，诏令禁酒，而刘昉使其妾赁屋，当垆沽酒，被治书侍御史梁毗弹劾。对于贪污受贿、中饱私囊，《隋书·刑法志》有这样的记载：文帝“十六年，有司奏合川仓粟少七千石，命斛律孝卿鞫问其事，以为主典所窃。复令孝卿驰驿斩之，没其家为奴婢，鬻粟以填之”。凡上自公卿贵族，下至地方官吏，只要有违法失职行为的，都在御史纠弹之列。由此可见其弹劾的内容涉及面非常宽广。检查权：御史台具有检查清核各类文书档案的职责。据《隋书·百官志下》记载，隋政府设置了专门的勾检官“丞”，负责督察各级官吏的行政行为是否在制度规定的框架之内，“至是（隋炀帝时）……丞准知勾检。”进行勾检的目的是防止不法官吏在公文运作过程中出现作弊等腐败枉法的行为，从而保证政府行政行为的规范化、廉洁化。
此外隋朝的御史还兼有部分司法监察权和审判权。还负责受理申诉和控告，审录囚徒等工作。当遇到重大、疑难案件时，大理寺、刑部和御史台三大司法机关会组成临时法庭，共同审理。
隋政府还考虑到对御史台官员自身的监督，建立了中央各机构之间的相互制约关系。隋文帝开皇三年（583 年）四月，诏尚书左仆射，掌判吏部、礼部、兵部三尚书事，御史纠不当者，兼纠弹之……尚书省和御史台两部门形成互相监督，保证各机构和官员都在受监督之列。
3. 地方监察机构
隋初御史台为最高监察机关，主要监察百官，分工明确，各司其职。在地方上，隋文帝一改传统的州、郡、县三级制，实行州县二级制，废除郡一级行政机构。到隋炀帝大业三年（607 年），又改州之名为郡，实行郡、县二级制。在地方不设监察机关，州太守既是行政长官又具有监察职权。中央对地方的监察监督，主要是根据形势的发展需要，由中央临时选派御史或委任其他政府官员按道巡察，进一步加强地方督察。这种临时性的巡察，往往有非常明确的目的性。
隋炀帝时期，对监察制度进行了改革。大业三年（607 年），在御史台之外又增置谒者台和司隶台。据《隋书·百官志下》记载“谒者台大夫一人，掌受诏劳问，出使慰抚，持节察授，及受冤枉而申奏之。驾出，对御史引驾”a。其职责主要是在出使抚慰并了解民风政情，持节授官，受理申奏冤枉等事项，具有对地方的监察权。而司隶台据《隋书·百官志》记载：“司隶台大夫一人（正四品），掌诸巡察。别驾二人（从五品），分察畿内，一人案东都，一人案京师。刺史十四人（正六品），巡察畿外。诸郡从事四十人，副刺史巡察。”负责定期监察京畿和郡县地方官员，管理地方监察。
4.《六察》
为了保证监察立法的周密细致，使监察工作能够做到有法可依，隋炀帝大业四年（608年）制定了地方监察法规《六察》，又叫《司隶六条》。据《隋书·百官志下》所载，《六察》的内容分别是“一察品官以上理政能否；二察官人贪残害政；三察豪强奸猾，侵害下人，及田宅逾制，官司不能禁止者；四察水旱虫灾，不以实言，枉征赋役，及无灾妄蠲免者；五察郡内盗贼，不能穷逐，隐而不申者；六察德行孝悌，茂才异行，隐而不贡者。每年二月，乘轺车巡郡县，十月入奏。”显示了隋朝在地方监督方面分工的明确性。隋炀帝制定地方监察法规《六察》，为隋朝的监察制度化、法制化提供了保障，并成为唐朝制定“六条察法”的蓝本。
总之，隋朝的监察制度在隋文帝时期一般能够正常实施，官员往往能够主动行使其职权，监察制度在这一时期也发挥了一定的作用。但是到了隋炀帝时期，由于皇帝本人奢侈腐化，朝臣朋党之争日益加剧，致使王纲不振，贪赃枉法的现象比比皆是，难以遏止。监察制度在混乱的政局中无力保证政风的清明廉洁，职能逐渐萎缩。
